光刻胶，半导体产业关键材料，电子化学品“皇冠上的明珠”，因其生产工艺复杂，技术壁垒高，全球光刻胶行业尤其是超高精细光刻胶主要被日美公司垄断。在滨州有这样一家企业，这里集聚国内顶级专家团队，聚焦国家重大科技专项，一举填补超高精细光刻胶国内空白，打破国外“卡脖子”。

这是一家什么企业？突围背后有什么故事？

面对国内众多备选城市，这家企业落地时毅然选择滨州。是什么让滨州脱颖而出？

着眼未来，这家企业会为滨州带来什么？

本期“对话滨州·新滨州人”，为您解密。

国科天骥 写入“中国芯”征途史册

——专访中国科学院大学理学博士、国科天骥（山东）新材料有限责任公司副总经理兼总工程师许箭博士

世界领先国内唯一  成功打破“卡脖子”

2021年4月29日上午，国科天骥（山东）新材料有限责任公司光刻胶滨州生产园区交付暨试生产仪式在滨州经济技术开发区举行。项目主要用于芯片核心材料——高档光刻胶的研发生产，标志着我国在光刻胶领域突破国外技术封锁、解决“卡脖子”问题，为实现完全自主产权迈出了坚实一步。

这是中国科学院大学、滨州市人民政府、山东魏桥创业集团协同构建的重大成果，是我市持续深化“政产学研金服用”创新机制，促进科学家、金融家、实业家握指成拳、深度合作的具体实践。

对很多人来说，光刻胶是个熟悉又陌生的概念。说它熟悉，是因为近两年经常在媒体上听说这个词语；说它陌生，是因为我们很难说清这究竟是一种什么物质。

那么，光刻胶到底是什么？

“光刻胶不是普通意义上的胶或胶水，而是一种对光敏感的混合液体。它又叫光致抗蚀剂，受到光照后特性会发生改变。根据下游应用领域，光刻胶可分为印制电路板光刻胶、面板光刻胶和半导体光刻胶三个大类，其技术壁垒依次递增。”国科天骥（山东）新材料有限公司副总经理兼总工程师许箭说。

光刻胶有多重要？

“这个问题需要从光刻说起。”许箭说，“作为半导体制造的核心流程，光刻工艺对于芯片制造来说至关重要。而光刻胶正是光刻工艺最重要的耗材，在光刻过程中起到精密图形制作和转移的作用，对光刻精度至关重要，因此，光刻胶被称为半导体材料‘皇冠上的明珠’，是半导体产业最关键的材料。”

光刻胶生产难在哪里？

“超高精细光刻胶的生产，准入门槛高，具有材料、工艺复杂，纯度要求高，设备投资大，验证周期长等特点。面对我国对光刻胶快速增长的需求，国产高档半导体光刻胶还处于空白状况。目前，国内广泛使用的ArF（193nm）光刻胶，即将投入大规模使用的极紫外光刻胶，以及用于科研院所、芯片设计企业、军工企业的电子束光刻胶，均被日本、美国等国家与地区的几家大型企业垄断，境外企业也形成了难以突破的知识产权壁垒，是制约我国半导体工业健康发展的‘卡脖子’材料。”许箭介绍。

国科天骥（山东）公司打破“卡脖子”技术垄断，生产超高精细光刻胶，成为世界领先、国内唯一能够生产高端芯片光刻胶的企业，对我国自主发展极大规模集成电路制造业具有战略意义。

许箭表示，国科天骥研发团队开发了一系列以单分子树脂(分子玻璃)为主体材料的光刻胶，并可用于极紫外光刻，得到分辨率小于20纳米的光刻图案，光刻线条的关键指标线边缘粗糙度可以稳定地达到 3纳米以下，第一期国家专项任务已顺利通过国家验收。此外，具有自主知识产权的主体材料经过配方设计，也可用于ArF（193纳米）光刻和电子束光刻等多种场景。电子束光刻灵敏度显著高于市售产品，可获得小于30纳米分辨率的光刻线条。

目前，国科天骥已打通光刻胶树脂的规模生产工艺路线。产品通过核磁、质谱鉴定及光刻测试。一期两条生产线的光刻胶年产能达20吨，二期4条生产线光刻胶产能达120吨，将于今年年底前建设完成。

“从原材料，到生产管控，到质量控制，我们全方位实现了国产化。”许箭说。

选择滨州 源于滨州热情感叹滨州速度

国科天骥（山东）新材料有限责任公司，依托中国科学院化学研究所和理化技术研究所的顶尖材料、化学专家团队，致力于打造新材料、新技术的创新孵化平台。

企业研发实力雄厚，团队负责人杨国强教授曾任中国科学院化学研究所副所长、中国化学会秘书长，现任中国科学院大学副校长，是材料、化学领域的知名学者。研发团队现有博士10人，正教授5人，研究涉及光功能材料的多个领域。近十年来，团队承担了国家重大科技专项《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》（即02专项）、中国科学院C类战略性先导科技专项中的超高精细光刻胶相关研发工作。

国科天骥为何会落地在滨州？

“我觉得有两个原因，一是滨州市各级领导对这个项目的重视，二是魏桥创业集团对项目的全力支持。”许箭说。

许箭还清晰记得中国科学院大学副校长、国科天骥创始人兼总经理杨国强教授第一次来滨州时的情形，“当时滨州市相关领导到高速口迎接并全程陪同考察，夏季天气炎热，大家都汗流浃背，杨校长对这件事印象深刻，他感受到了滨州对项目的重视，在后续交谈过程中，也实实在在感受到了滨州的热情。”

“国科天骥的投资方之一魏桥创业集团对项目非常关注，在各方面给予我们最大支持。”许箭说，杨校长参观过魏桥创业集团的创业史展厅，非常认同魏桥的企业文化，与魏桥创业集团张波董事长做过进一步沟通后，最终选择落地在滨州。

“项目选址时，这里还是一片荒地，我们计划用2到3年时间建成投用，没想到仅用15个月就交付使用。”杨国强表示，滨州人民的热情和效率令人难忘。

“我们的项目得到市、区和相关企业的大力支持。滨州市主要领导多次来项目建设现场调研，帮助解决困难。滨州开发区的负责同志很热情地帮我们选址，并为项目发展出谋划策。”杨国强说，尽管建设过程中遇到新冠疫情，工期不但没有延误，反而快速推进，真正体现了滨州的服务水平和效率。

“在这边，政府给我们很多帮助，缩短了手续时间，包括工期，还有后续的安全环评等一些评议。”许箭说，刚刚建厂的时候，有很多审批手续需要跟政府协调，如果企业自己去申请审批需要经过很多手续，比较繁琐。为了让项目尽快落地，投产达效，滨州市为公司提供了尽可能多的便利和全方位的服务。

来滨州之前，许箭对这里并不了解，“杨校长告诉我，滨州是一座非常漂亮的城市，我来之后，也切身感受到了这一点。”许箭说，滨州城市的规划、绿化很好，整个环境非常宜居。

2021年3月份，当时只有32岁的许箭正式来到滨州，来滨当天，他就被安排住进了高标准的人才公寓，“很温馨很温暖，解决了我的后顾之忧。我也切身感受到了滨州对人才的热情。”

说起人才招引，许箭很有感触，“地方政府对人才政策方面的吸引力很关键，滨州还有很多吸引人才的政策，包括补贴，能让更多高端人才安心来滨州发展事业。”

“很多人才都是奔着高科技产业产品，一个国家亟需的技术类产品而来。”许箭说，他们也希望将热情投入到这样一个产业里，做出有用的东西，服务于整个社会。

“滨州当地人才对家乡的建设热情也非常重要。”许箭说，我们引进的人才，大多数都是山东省内，很多也是滨州人，他们原来在外地上学或工作，回到家乡，因为他们对滨州有情怀，想为滨州做贡献，这也是我们吸引到更多人才的一个重要原因。

今年是许箭来滨州的第3个年头，这几年他切身感受到了滨州的快速发展，“滨州一直倡导产教融合型、实业创新型城市建设，也有了渤海先进技术研究院和滨州魏桥国科高等技术研究院两个支点，大力发展高科技产业，相信在这样的环境下，滨州可以发展得更好”。

植根滨州 打造国内高科技领军企业

2021年4月，国科天骥（山东）新材料有限责任公司光刻胶滨州生产园区试生产，2022年8月，国科天骥完成了亿级A轮融资……企业发展速度之快，出人意料，又在情理之中。

“团队从2011年开始光刻胶研发，10年时间，开创性引入单分子树脂技术，在光刻胶领域获得了一系列成果，光刻胶可以做到非常高的分辨率，突破10纳米以下技术节点，获得了国际同行的一致认可。”对于团队的研发成果，许箭很自信，“这些材料可以到国内主流芯片制造企业里应用。”

国科天骥面向的客户是半导体芯片制造企业，“目前客户群体主要是国内芯片制造头部企业。”许箭说，“半导体是稳扎稳打行业，所以我们也在稳中求进，加快更多的产品突破。”

目前，国科天骥的光刻胶生产已经具有自主知识产权，研发团队形成了包括产品，装备和工艺的专利群。单分子树脂光刻胶完全突破了高分子光刻胶的知识产权壁垒，研发的产品可应用于多种光刻情景。

通过近10年对高档光刻胶的潜心研究，国科天骥已掌握了高精细光刻胶的关键技术，并将根据市场发展的需求，不断开发新产品。“针对下游客户，已经开发出了10多款产品，目前都在客户端有应用。”许箭说，我们与下游主流芯片制造企业客户同步，联合攻关更多的光刻胶品种，现在已经同步的材料有20多种。

光刻胶从研发成功到量产，需经过终试、放大、产品验证多个环节，用时两到三年时间，过程相对漫长。“现在我们已经有很多产品在客户端，尤其是12寸芯片制造企业，国内顶尖芯片企业做测试验证工作。希望今年这些产品都能够在这些企业测试通过，并且获得批量订单。”许箭说，这是今年的一个小目标。

作为国科天骥（山东）新材料有限责任公司副总经理兼总工程师，许箭全面负责国科天骥产品的研发、生产和市场推广工作。“在跟客户的验证过程中，不断去迭代产品，扩充产能，去匹配下游客户的实际需求。”许箭表示，去年产能只有20吨，今年年底之前，产能有望突破120吨。

国科天骥是一家研发型企业，研发是灵魂，是生命线，是驱动力。“我们也希望，基于国科天骥的发展，为滨州注入更多高科技研发活力，带动整个滨州在研发实力以及在高科技领域更好发展，带动更多集成电路材料领域企业落地滨州，为滨州发展做贡献，让半导体材料行业成为滨州新名片。”

着眼未来，国科天骥还有更长远的目标，“我们是一家新材料企业，高端光刻胶材料只是一个起点，未来三到五年，我们要把国科天骥打造成一家在国内高科技功能材料领域的领军企业。”许箭解释，国内的半导体材料行业，尤其光刻胶领域，高端的光刻胶材料偏少，国科天骥涉足光刻胶领域，希望可以做到国内领军，真正把国内整个高端光刻胶材料提升到更高水平。

“国科天骥产品研发的突破，可以提升整个国产化信心，让大家知道，咱们国内也可以做这个领域好的产品，我们会进一步的把经验传递到其他领域，让更多高科技材料实现国产化，实现自主可控。”许箭说，集成电路材料产业是目前国内一个亟需突破“卡脖子”的领域，有更多企业加入，取得更多的突破，就能在国家战略上起到积极作用，“相信在‘中国芯’制造征途中，国科天骥会载入史册。”

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撰稿：张卫建 刘 飞

本期编导：赵海兵 张静

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